沿革

2006年3月: 産総研より、NEDO H17年度調査研究報告書「ナノテクノロジーによる生産技術革新に関する調査研究」発行
2008年4月1日: 企業16社2大学と産総研により、(旧)ファブシステム研究会を設置
2008年11月25日: 研究会活動の集大成として「レポート２１世紀型生産システム～微細加工ファブシステムを中心に～」発行。
レトロフィットファブとミニマルファブを提言。
2010年1月15日: 旧ファブシステム研究会を母体に、産業技術総合研究所コンソーシアム・ファブシステム研究会を、企業24社、4大学、 1特許事務所、1公的機関、1個人会員、産総研職員21名とともに発足させる
2010年2月5日: 設立総会開催
2010年4月1日: H22年度より、会費徴収開始
2012年5月9日: 当研究会の主要装置メーカにより、ミニマルファブ技術研究組合設立
2012年6月1日: 経済産業省プロジェクト「革新的製造プロセス技術開発(ミニマルファブ)」開始
2013年10月1日: 一部ミニマル装置の受注生産開始
2013年12月4日: セミコンジャパン2013にて、ミニマル装置だけを用いてその場でトランジスタの製造に成功
2015年4月1日: ミニマルファブ技術研究組合にて、ミニマルファブを用いたデバイス試作サービス事業開始。直後より試作受注、試作を実施。
2015年12月16日 ～18日: セミコンジャパン2015にて、CMOSデバイスとミニマルパッケージの試作に成功。
2017年4月1日: 産総研ファブシステム研究会を一般社団法人ミニマルファブ推進機構の組織の中にファブシステム研究会として併合