産総研コンソーシアム・ファブシステム研究会と共催し、昨年12月14日～16日の間で東京ビッグサイトで開催されたセミコンジャパン2016に出展致しました。

72台のミニマル装置群を搬入し、会場でpMOSFETを試作するとともに、会場でパッケージングするという、世界初のトライアルにも成功しました。さらに、パッケージングされたトランジスタは、デモ用電子ブロック回路に組込んで動作させて、試作開発から動作確認まのミニマルしかできない一貫した流れをご覧頂くことが出しました。

また、MEMS向け装置群も充実してきており、今回は深掘りエッチャーは勿論、イオンミリングや両面アライメント露光についても開発を進めており、装置を展示し、会場では、実際にエッチングをして、カンチレバーを試作しました。

今回は、純水だけでレジストを瞬間蒸発させる水プラズマ装置の開発機も新たに登場し、また(株)ディスコが開発した120mにも及ぶディスコブースとミニマルブースを結ぶシャトル搬送エアシューターが耳目を集めるなど、3日間のミニマルブースへの来客者数は前年にも増して4,000名規模になりました。

以下はメディア紹介ウェブサイトです。ご覧ください。

EE Times Japan：http://eetimes.jp/ee/articles/1612/16/news034.html

マイナビニュース：http://news.mynavi.jp/articles/2016/12/14/semicon2016_minimal/

MONOist：http://monoist.atmarkit.co.jp/mn/articles/1612/19/news039.html