[代表・発起人]
・ (独)産業技術総合研究所：エレクトロニクス研究部門 先端シリコンデバイスグループ 主任研究員 原 史朗

[常任委員]
・ (株)日立グローバルストレージテクノロジーズ： ヘッド製造本部 主管技師 加藤 洋
・ オリンパス(株)： 研究開発センター 生産技術本部 生産戦略部 次長 千村重弥
・ (株)東芝：大分工場 プロセス生産技術部 部長 宮下直人
・ 三洋半導体製造(株)：生産統括室 室長 池田 猛
・ (株)高島産業：デバイス事業部 部長 芦沼一寿
・ (株)日立製作所： モノづくり技術事業部 シニアプロジェクトマネージャー 久保内講一
・ 横河電機(株)： ソリューション事業部ＥＴＳ本部営業技術部半導体事業企画 グループ長 廣嶋隆史
・ (株)日立ハイテクノロジーズ： 半導体製造装置営業統括本部 プロセス製造装置営業本部 部長代理 加藤健児
・ 大成建設(株)：エンジニアリング本部 生産・物流グループ-4 シニア・エンジニア 山�ｱ喜郎
・ (株)日本電産サンキョー： 長野開発技術研究所 所長 常田晴弘
・ CKD(株)：生産本部小牧機器事業所製造部 部長 丹羽久信
・ (株)ナノテック： 代表取締役 横山元宣
・ (独)産業技術総合研究所：サービス工学研究センター 主任研究員 宮下和雄
・ (独)産業技術総合研究所：エレクトロニクス研究部門 先端シリコンデバイスグループ長 昌原明植

[協力委員]
・ 信越化学工業(株)： 磁性材料研究所 第三部開発室 部長 大橋健
・ 横浜国立大学： 大学院 工学研究院 教授 羽深 等
・ 東京大学： 大学院 工学系研究科 精密機械工学専攻 准教授 一木正聡
・ 横河ソリューションズ(株)： 情報エンジニアリング事業部パッケージ開発統括部3部 部長 中川隆
・ (株)日立東日本ソリューションズ： 研究開発部 主任研究員 岡�ｱ司
・ (株)三明： 産業電機営業部 精機事業推進室MEMS事業推進 課長 犬塚善樹
・ (独)産業技術総合研究所：ナノ電子デバイス研究センター 副研究センター長 秋永広幸
・ (独)産業技術総合研究所：先進製造プロセス研究部門 集積加工研究グループ 主任研究員 中野禅
・ (独)産業技術総合研究所：エレクトロニクス研究部門 量子凝縮物性グループ 主任研究員 池田伸一

[委員補佐]
・ (株)東芝：大分工場 プロセス生産技術部 第二材料プロセス技術担当 グループ長 小野昌弘
・ (株)東芝：大分工場 プロセス生産技術部 第一製造技術担当 グループ長 濱本鉄久
・ 三洋半導体製造(株)：生産統括室 品質安全環境推進部 部長 藤田康治
・ 三洋半導体製造(株)：新潟工場 製造技術部 部長 金子和功
・ 三洋半導体製造(株)：岐阜工場 品質技術部 部長 駒形道雄
・ (株)高島産業： 常務取締役 遠藤千昭
・ (株)高島産業： 開発部 企画開発担当マネージャー 栗林かおる
・ 大成建設(株)：エンジニアリング本部 品質保証グループ シニア・エンジニア 長谷部貴司
・ 大成建設(株)：建築技術研究所 建築構工法研究室 材料チーム 主任研究員 若山恵英
・ 大成建設(株)：建築技術研究所 環境研究室 環境再生チーム 主任研究員 浦野明
・ (株)日本電産サンキョー：経営企画部付部長 工藤信一
・ (株)日本電産サンキョー：営業推進部主事 斉藤諭
・ CKD(株)：生産本部春日井事業所第１技術部 部長 伊藤一寿
・ 信越化学工業(株)： 磁性材料研究所 第三部開発室 主任研究員 津森俊宏

[アドバイザー]
・(独)産業技術総合研究所：産業技術アーキテクト 景山 晃