沿革

2006年3月
産総研より、NEDO H17年度調査研究報告書「ナノテクノロジーによる生産技術革新に関する調査研究」発行
2008年4月1日
企業16社2大学と産総研により、(旧)ファブシステム研究会を設置
2008年11月25日
研究会活動の集大成として「レポート 21世紀型生産システム ~微細加工ファブシステムを中心に~」発行。
レトロフィットファブとミニマルファブを提言。
2010年1月15日
旧ファブシステム研究会を母体に、産業技術総合研究所コンソーシアム・ファブシステム研究会を、企業24社、4大学、 1特許事務所、1公的機関、1個人会員、産総研職員21名とともに発足させる
2010年2月5日
設立総会開催
2010年4月1日
H22年度より、会費徴収開始
2012年5月9日
当研究会の主要装置メーカにより、ミニマルファブ技術研究組合設立
2012年6月1日
経済産業省プロジェクト「革新的製造プロセス技術開発(ミニマルファブ)」開始
2013年10月1日
一部ミニマル装置の受注生産開始
2013年12月4日
セミコンジャパン2013にて、ミニマル装置だけを用いてその場でトランジスタの製造に成功
2015年4月1日
ミニマルファブ技術研究組合にて、ミニマルファブを用いたデバイス試作サービス事業開始。直後より試作受注、試作を実施。
2015年12月16日
~18日
セミコンジャパン2015にて、CMOSデバイスとミニマルパッケージの試作に成功。